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超声波清洗在半导体行业中的应用

2014/11/21 16:42:24

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详细介绍

                            行业类别
                            清洗对象
主要污染物
                            常用清洗剂
电子行业
印刷电路板、电位器、线圈、导波管、电子元件、磁性材料等
助焊剂、防锈剂、油、石蜡、氧化物、尘、手垢
三氯乙烯、三氯乙烷、丙酮、中性洗剂、纯水


工艺难点:

1. 超声波可能会损伤半导体零件


2. 半导体零件对洁净度要求高


解决方法:

采用高频超声清洗

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